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确定石英坩埚的尺寸(或体积大小)取决于晶体生长的直径和长度，同时也要考虑到拉晶工艺对坩埚、晶径比的要求。总体竭、晶径比以3:1为宜。这是因为它直接与熔液接触，在熔硅与石英坩埚的反应产生sio之后，它向熔体表面扩散，并同时向熔体内部挥发性，终有一部分到达固一液相界面附近，并与生长中的晶体相混合，从而增加单晶中氧的含量。采用更大的涡粒比和晶粒比，可使氧大量挥发。所以，在拉伸成直径为80mrn，长度为7.000mm硅单晶的情况下，我们确定增涡直径中224mm，高190mm。
根据石英的力学性能，生产氧化铝坩埚的厂家有：抗压强度8004一8500(WCkg/cm2)，抗拆强度710一1040(200Ckg/cm')，抗弯强度700一1100(200Ckg/cml)，抗扭强度304一600(20cckg/cml)，因此，我们选用柑桔的厚度为4mm的柑桔，以便能够承受12Kg以上的锡料。为使单晶生长到底部时仍能保持原来的枯度、晶径比(3:I)，并尽量减少坩埚中的残余物，从而提高单晶的成品率和回收率，决定采用平底柑塌技术。它的外形尺寸和形状如图1所示。使用球底琳A时，在保证竭、晶径比(3:1)的前提下，竭、晶内剩料将超过平底琳祸剩余料，这对提高单晶的成品率和回收率是不利的。
上面是石英坩埚的尺寸和形状的确定方法，下面就让我们一起来学习吧！
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